设备介绍
1、 激光束非接触工作,无机械应力,避免材料崩边、碎裂或变形。热影响区小,断面平滑、无微裂纹。
2、 采用高精度运动控制系统与视觉定位,实现微米级加工。光束质量好,能产生极细光斑。
3、 切割速度快,模块化与封闭光路设计保障24小时连续稳定运行。
4、 配备专用软件,可灵活设计、显示划片路径,易于集成自动化产线。
适用材料:
各类硅片(单晶硅、多晶硅、非晶硅);其他半导体材料(如砷化镓、碳化硅、蓝宝石衬底等);精密脆性材料(如陶瓷、石英玻璃)
适用行业:
光伏行业:太阳能电池硅片的划片与切割;半导体行业:集成电路晶圆的芯片分割;其他高精领域:LED、光电子、医疗器件等